6英寸PFA cassette 高幫進口PFA材質(zhì)6英寸清洗花籃為最大晶圓片提供支撐和保護作用，A194-60MB 晶圓運輸盒對晶圓加工中的常用化學(xué)品都是耐受的。包括酸（鹽酸，硫酸，氫氟酸和硝酸），堿（氫氧化鈉，氫氧化鉀，氫氧化銨，過氧化氫），醇，酮，氯化溶劑和氟利昂。 溫度限制：高溫晶圓高溫硅片輸入極限溫度為290℃。連續(xù)使用極限溫度120℃。 晶圓容量：25片 型號:A194-60MB 晶圓直徑(mm):150mm (6英寸） 尺寸(mm): 143.38mm x 177.8mm x 171.45mm 材料:天然PFA(氟樹脂)